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      真空爐真空系統如何操作

      2020-06-08

        真空爐真空系統如何操作呢?大家在操作該設備之前可以先看下如下分享,相信對大家操作真空爐真空系統是有幫助的。
        1、羅茨泵啟動
        打開前級閥,關閉主閥和預抽閥,用按鈕啟動機械泵,當低真空規管測量的真空度高于羅茨泵入口真空度時,比如小于2kPa,啟動羅茨泵。
        2、預熱擴散泵
        主閥和預抽閥仍處于關閉狀態,前級泵機組對擴散泵抽真空,當低真空規管測量擴散泵前級真空度高于規定值時,比如小于7Pa,啟動擴散泵加熱器。
        3、預抽爐內真空
        先關前級閥,并停止羅茨泵,稍后打開預抽閥對爐內抽真空。爐內真空度抽到高于羅茨泵入口真空度時,再啟動羅茨泵。前級泵機組對爐內抽氣,使之達到預抽真空度。
        4、抽高真空
        爐內真空度達到或高于規定值,且擴散泵加熱時間到,先關預抽閥,然后開高真空閥,對爐內抽高真空,直到高真空規管測得的爐內真空度達到或高于工作真空度,才進行下一步操作。真空系統的關閉步驟相對比較簡單,當爐子溫度減低到可關真空系統的要求時,關閉主閥,接著關閉擴散泵加熱器,但前級閥不能關閉,前級泵機組仍然工作,直到擴散泵加熱器冷卻時間到,才依次關閉前級閥和前級泵機組。
        以上即是真空爐真空系統的操作方法,大家選購好設備之后可以先了解一下操作方法,方便后期更快的投入使用。

      真空爐

      真空爐結構

      真空爐

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